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SP-SWI/SP-DWI 光学静态/动态表面轮廓测量仪-动态/静态形貌量测+共振频率侦测


SP-SWI/SP-DWI 光学静态/动态表面轮廓测量仪可以快速地进行纳米级3D轮廓测量、谐振频率检测,
并对检测对象表面的粗糙度、平整度、厚度、台阶高度进行分析:
-快速静态分析
SP-DWI/SWI 提供友好的用户界面、非接触式、快速、纳米级精确的 3D 轮廓测量。它适合分析任何反射率至少为 1% 的材料表面。可以进行粗糙度和台阶高度分析。
-动态测量
利用高频频闪(>1MHz),SP-DWI可以测量MEMS的动态特性,例如振动模式和周期性振动运动的表面轮廓。